内部循環式・クリーンコーター・ドライヤー
症状
クリーンコーターでありながらも循環経路には異物が付着している
説明
目視確認できない箇所であるフローティングドライヤータイプの上下チャンバーBOX内部はクリーンな状態を保っている必要がある。しかし微細な異物は存在し、フローティングノズル内部に侵入している。
HEPAフィルター以降のドラーヤー内部では昇華物が炭化し壁面やノズル側面などを汚染している。循環空気はその経路に位置する熱交換器や循環FANを経年と共に汚染していく。乾燥炉概略図
熱交換器~フィルターBOX 循環FAN 乾燥炉内部壁面 乾燥炉内部
間仕切開口部付近
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